可拋光8”以及12”晶圓的外周。本設(shè)備拋光鼓安裝風(fēng)葉和杠桿機(jī)構(gòu)，當(dāng)拋光鼓旋轉(zhuǎn)時(shí)，風(fēng)的阻力作用在風(fēng)葉上，帶動(dòng)杠桿產(chǎn)生擺動(dòng)，從而貼在杠桿上的拋光布?jí)合蚬杵牧Υ笮‘a(chǎn)生變化，因此通過(guò)控制拋光鼓的旋轉(zhuǎn)方向以及轉(zhuǎn)速可以控制拋光力的大小?？梢赃m應(yīng)各種邊緣拋光形狀，改良了機(jī)械手運(yùn)作方式，將傳統(tǒng)的直線行走方式改良成旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)方式，多個(gè)機(jī)械手同時(shí)旋轉(zhuǎn)動(dòng)作將多個(gè)晶圓依次搬運(yùn)到下一個(gè)工位。簡(jiǎn)化了機(jī)械手移動(dòng)結(jié)構(gòu)，動(dòng)作更簡(jiǎn)單，使用更可靠。改良VN拋光方式，現(xiàn)有方式是晶圓水平放置VN拋，改良后將晶圓豎直放置VN拋，更有利于拋光液充分填滿拋光位置，而其它晶圓表面不易積液，并有SECS通信及數(shù)據(jù)輸出功能。